研磨方法および研磨装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：森道雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996106656
Publication number (International publication number)：1997290363
Application date： Apr. 26, 1996
Publication date： Nov. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】装置を常時モニタリングする必要がなく、研磨パッドの摩耗状態に応じて研磨パッドの交換時期を判定できる研磨方法および研磨装置を提供する。【解決手段】研磨パッドにかかる圧力が一定となるように研磨パッドの高さを制御し、研磨パッド高さの測定値と、あらかじめ設定しておいた閾値(研磨パッド使用限界高さ)とを比較して研磨パッド交換時期を判定する(ステップS7)研磨方法。研磨パッド圧力により研磨パッドの高さを制御する研磨パッド高さ制御手段と、研磨パッド高さの測定結果に基づいて研磨パッド交換指示を行う研磨パッド交換指示手段とを備える研磨装置。

Claim (excerpt)：

試料台上に保持された試料に、研磨定盤に被着された研磨パッドを押し当て、試料と研磨パッドの間に研磨剤を供給し、試料台および/または研磨定盤を回転させて試料を研磨する研磨方法であって、研磨パッドにかかる圧力が一定となるように研磨パッドの高さを制御したときの研磨パッドの高さから研磨パッドの交換時期を判定することを特徴とする研磨方法。

IPC (3)：

B24B 37/00 , H01L 21/304 321 , H01L 21/304

FI (4)：

B24B 37/00 C , H01L 21/304 321 E , H01L 21/304 321 M , H01L 21/304 321 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

研削装置の砥石の摩耗量検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-119198 Applicant：新明和工業株式会社
洗浄方法及び洗浄装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-122954 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
精密研磨用パッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-349924 Applicant：千代田株式会社

Return to Previous Page