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J-GLOBAL ID：200903065301080794

黒色低熱膨張セラミックス焼結体及びその製造方法

Inventor： 菅原 潤 ,  森田 英彦 ,  橋本 克己 ,  野瀬 哲郎
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 岸田 正行 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999183109
Publication number (International publication number)：2001019540
Application date： Jun. 29, 1999
Publication date： Jan. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】 黒色の色調を持ち、室温で非常に低熱膨張かつ剛性及び比剛性の高い黒色低熱膨張セラミックス焼結体及びその製造方法を提供する。【解決手段】 化学組成がMgO:8.0〜17.2重量%、Al2O3:22.0〜38.0重量%、SiO2:49.5〜65.0重量%、遷移元素の1種又は2種以上:酸化物換算で合計0.1〜2重量%、Li2O:0〜2.5重量%の範囲内にあり、化学組成の重量比が(SiO2-8×Li2O)/MgO≧3.0、(SiO2-8×Li2O)/Al2O3≧1.2であることを特徴とする黒色低熱膨張高比剛性セラミックス焼結体。

Claim (excerpt)：

室温における熱膨張係数の絶対値が0.6×10-6/°C以下、弾性率(ヤング率)が100GPa以上、比剛性(ヤング率/比重)が40GPa・cm3/g以上であり、その焼結体の色調が黒色であることを特徴とする黒色低熱膨張高比剛性セラミックス焼結体。

IPC (4)：

C04B 35/195 ,  C04B 35/64 ,  C04B 35/645 ,  G11B 5/31

FI (5)：

C04B 35/16 A ,  G11B 5/31 M ,  C04B 35/64 A ,  C04B 35/64 N ,  C04B 35/64 302 Z

F-Term (30)：

4G030AA02 ,  4G030AA07 ,  4G030AA20 ,  4G030AA22 ,  4G030AA25 ,  4G030AA27 ,  4G030AA28 ,  4G030AA29 ,  4G030AA31 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030BA13 ,  4G030BA14 ,  4G030BA18 ,  4G030BA24 ,  4G030CA01 ,  4G030GA03 ,  4G030GA04 ,  4G030GA08 ,  4G030GA23 ,  4G030GA24 ,  4G030GA26 ,  4G030GA29 ,  4G030HA04 ,  4G030HA12 ,  4G030HA16 ,  4G030HA17 ,  4G030HA18 ,  4G030HA25 ,  5D033DA21

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-210060
  
• 低熱膨張黒色セラミックス及びその製造方法、並びに半導体製造装置用部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-149384   Applicant：京セラ株式会社