低熱膨張黒色セラミックス及びその製造方法、並びに半導体製造装置用部材

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998149384
Publication number (International publication number)：1999343168
Application date： May. 29, 1998
Publication date： Dec. 14, 1999
Summary：

【要約】【課題】低熱膨張を有するとともに、気孔が少ない緻密質でかつ黒色の低熱膨張セラミックスを得る。【解決手段】コージェライトを80重量%以上、望ましくは希土類元素を酸化物換算で1〜20重量%含有する組成の原料粉末を酸素分圧0.2気圧以下のカーボン雰囲気下で1000°C〜1400°Cの温度で100kg/cm2 以上の加圧下で焼成し、気孔率が0.5%以下、特に最大ボイド径5μm以下、カーボン含有量0.1〜2.0重量%、10〜40°Cにおける熱膨張係数1×10-6/°C以下の緻密質黒色低熱膨張セラミックスを得、この緻密質黒色低熱膨張セラミックスを特に露光用ブラインドや鏡筒などの遮光性部材や、露光装置用真空チャック、ステージ位置測定ミラーなどの半導体製造装置用部品に適用する。

Claim (excerpt)：

コージェライトを80重量%以上含有し、気孔率が0.5%以下、カーボン含有量0.1〜2.0重量%、10〜40°Cにおける熱膨張係数1×10-6/°C以下であることを特徴とする低熱膨張黒色セラミックス。

IPC (2)：

C04B 35/195 , H01L 21/68

FI (2)：

C04B 35/16 A , H01L 21/68 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

耐食性部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-201566 Applicant：京セラ株式会社
窒化アルミニウム焼結体、その製造方法および半導体製造用装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-218158 Applicant：日本碍子株式会社
無機質焼結体製造用バインダー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-076242 Applicant：株式会社日本触媒

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