ウェ-ハケ-ス

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：安倍逸郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998073315
Publication number (International publication number)：1999059778
Application date： Mar. 05, 1998
Publication date： Mar. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】ケース密封性の向上が図れ、ケース内外に生じた圧力差を比較的短時間で自動解除し、かつごみの濾過性が高く、ケース変形によるウェーハ損傷やごみのウェーハ付着が防げ、しかも比較的安価である。【解決手段】何らかの原因で外圧が変化し、ウェーハケース10の内外で圧力差が生じると、フィルタ17を介して圧力の大きい方から小さい方へ空気が流れ、ケース内外の圧力差が比較的短時間で自動解除される。外気中の微細なごみは、0.05μm以上のごみ類を99.9%以上濾過し、濾過速度V/1500(mol/分)以上のフィルタ17で除かれるので、圧力差解除時に外気中のごみがウェーハ表面に着いたり、注射器の針先でウェーハ11を傷つけない。またケース10にフィルタ17を取り付けただけなので、比較的低コストとなる。

Claim (excerpt)：

ウェーハが収納される容器本体と、この容器本体を密閉する蓋と、容器本体および蓋の少なくともいずれか一方の外壁に取り付けられたフィルタとを備え、このウェーハケースの外圧がその内圧より0.05〜0.2気圧だけ低い場合にも上記蓋と容器本体との間の密閉性が保持されるウェーハケースにあって、このフィルタを介してのみウェーハケース内外の気体の流通を可能とするとともに、このフィルタは、0.05μm以上の大きさの微細なごみ類を99.9%以上濾過することができるウェーハケース。

IPC (2)：

B65D 85/86 , B65D 81/24

FI (2)：

B65D 85/38 R , B65D 81/24 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

内圧調整機構付き薄板収納容器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-298161 Applicant：住友シチックス株式会社, 株式会社柿崎製作所
洗浄装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-207685 Applicant：ソニー株式会社
特開昭59-171049

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