Pat
J-GLOBAL ID：200903065464996265

リニアモータとステージ装置及びこれを用いた走査型露光装置やデバイス製造方法

Inventor：
海老沼 隆一

About 海老沼 隆一


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997170269
Publication number (International publication number)：1999018406
Application date： Jun. 26, 1997
Publication date： Jan. 22, 1999
Summary：
【要約】【課題】 走査露光装置のレチクルステージに好適なリニアモータを提供する。【解決手段】 固定子と可動子を有し、固定子は走査方向に配列された複数のコイル列と一つのコイルで構成したユニットとする。また可動子は複数の磁石列を走査方向(Y方向)に配列すると共に1セットの磁石をこれを直交するX方向に配列したユニットをする。これにより、走査方向と共にこれと直交する方向にも微小変位の駆動が可能となる。
Claim (excerpt)：
固定子に対して可動子を所定のストロークに渡って走査移動させるリニアモータにおいて、該可動子を走査方向と共にこれと直交する方向にも変位させる駆動力を生成する電磁手段を備えたことを特徴とするリニアモータ。
IPC (5)：
H02K 41/03 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00
FI (7)：
H02K 41/03 A ,  H01L 21/68 K ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 518
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)
  • 2次元リニアモータ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-276697   Applicant：シャープ株式会社
  • 平面モータ装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-188096   Applicant：住友重機械工業株式会社
  • 特開平3-178747

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM