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J-GLOBAL ID：200903065517130168

液晶表示用カラーフィルタの欠陥修正方法および装置

Inventor：
久住 庸輔

About 久住 庸輔

, 
若林 浩次

About 若林 浩次


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995153173
Publication number (International publication number)：1997005732
Application date： Jun. 20, 1995
Publication date： Jan. 10, 1997
Summary：
【要約】【目的】 液晶表示用カラーフィルタの欠陥修正を自動的に行う。【構成】 紫外レーザ発振器1から発射される紫外レーザ光100をワーク11上の欠陥部に照射する。欠陥部は、CCDカメラ12により撮像されており、得られる画像データに基づいて、自動的に、紫外レーザ光100の断面形状を可変矩形開口5により変更するとともに、その照射位置をXYステージ10により位置決めする。画像データから抽出される欠陥部の除去すべき領域は、適当な複数の矩形に分割されており、その矩形の大きさおよびその分割位置が利用される。
Claim (excerpt)：
液晶表示用カラーフィルタの欠陥部に紫外レーザ光を照射して、その欠陥部を分解・蒸発させて除去する液晶表示用カラーフィルタの欠陥修正方法であって、前記欠陥部を含む領域を撮像することによって得られる画像データに基づいて、欠陥部の外形を抽出する第1のステップと、抽出された欠陥部の外形により形成される欠陥領域を任意の大きさの矩形に分割する第2のステップと、分割された矩形の大きさおよび分割位置に応じて、紫外レーザ光の断面形状を変更するとともに、その照射位置を位置決めする第3のステップと、紫外レーザ光の断面形状の変更および照射位置の位置決めが完了した後、紫外レーザ光を照射して、前記欠陥部を除去する第4のステップとを含むことを特徴とする液晶表示用カラーフィルタの欠陥修正方法。
IPC (2)：
G02F 1/1335 505 ,  G02B 5/20 101
FI (2)：
G02F 1/1335 505 ,  G02B 5/20 101
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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