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J-GLOBAL ID：200903065541740279
アルカリ土類金属の高純度β-ジケトネート錯体およびその製法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992055693
Publication number (International publication number)：1993255855
Application date： Mar. 13, 1992
Publication date： Oct. 05, 1993
Summary：
【要約】【目的】 CVD法によって薄層を形成するための原料として有用な、高純度なアルカリ土類金属のβ-ジケトネート錯体を製造する。【構成】 DPMのアセトン溶液とBaCl2のアセトン溶液を混合し、よく攪拌しながら、NaOHのメチルアルコール溶液を滴下して、DPMとBaとを反応させる。図1中(C)に示すように、真空下での熱重量分析によって測定される不純物蒸発量が0.01%未満、キレート蒸発量が99.5%以上で、元素分析によって測定される炭素含有量が理論量の99.1〜101.0%、水素含有量が理論量の99.0〜101.0%、ICP分析によって測定される金属含有量が理論量の99.0〜101.0%である高純度なBa(DPM)2を得る。
Claim (excerpt)：
アルカリ土類金属とβ-ジケトンからなる錯体であって、下記の特性、(1)真空下での熱重量分析によって測定される不純物蒸発量が0.01%未満であること、(2)真空下での熱重量分析によって測定されるキレート蒸発量が99.5%以上であること、(3)元素分析によって測定される炭素含有量が、理論量の99.1〜101.0%であること、(4)元素分析によって測定される水素含有量が、理論量の99.0〜101.0%であること、(5)ICP分析によって測定される金属含有量が、理論量の99.0〜101.0%であることを有するアルカリ土類金属の高純度β-ジケトネート錯体。
IPC (3)：
C23C 16/18
, C07C 49/92
, C07F 3/00
