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J-GLOBAL ID：200903065551721442
高移動度測定装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
岩橋 祐司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004323199
Publication number (International publication number)：2006135125
Application date： Nov. 08, 2004
Publication date： May. 25, 2006
Summary：
【課題】 本発明の目的はTOF法におけるドリフト時間の短い部分の雑音を低減した高移動度測定装置を提供することにある。【解決手段】 測定対象物に設けられた電極に接触可能なプローブを有する測定対象物設置手段12と、測定対象物に光を照射する光照射手段14と、プローブを介して前記電極に電圧を印加する電圧印加手段16と、測定対象物を流れる電流信号を検出する信号検出手段18と、検出信号を処理する信号処理手段20と、を備え、TOF法測定を行う高移動度測定装置10において、 光照射手段14と他の手段(16、18)との間の接続を光接続とし、電気的に分離絶縁することで光照射手段14から発生するノイズを低減する雑音低減手段、TOF法測定の検出信号に混入する前記光照射手段からのノイズを除去する雑音除去手段(20)を備えたことを特徴とする高移動度測定装置。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
測定対象物に設けられた電極に接触可能なプローブを有する測定対象物設置手段と、
測定対象物にパルス光を照射する光照射手段と、
前記プローブを介して前記電極に電圧を印加する電圧印加手段と、
前記プローブを介して、測定対象物を流れる電流信号を検出する信号検出手段と、
該信号検出手段にて検出した信号を処理するための信号処理手段と、を備え、
前記測定対象物設置手段のプローブを測定試料に設けられた2つの対向した電極にそれぞれ接触させ、前記電圧印加手段により、該接触したプローブを通して該電極間にパルス電圧を印加し、それに同期して前記光照射手段から測定対象物にパルス光を照射し、発生したキャリヤによる電流信号を信号検出手段により検出するTOF法測定を行う高移動度測定装置において、
前記光照射手段と前記他の手段との間の同期をとるための接続を光接続とし、電気的に分離絶縁することで該光照射手段で発生するノイズの混入を低減する雑音低減手段、及び/またはTOF法測定の検出信号に混入する前記光照射手段からのノイズを除去する雑音除去手段を備えたことを特徴とする高移動度測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L21/66 L
, G01R31/26 F
2G003AA06
, 2G003AB00
, 2G003AG03
, 2G003AH00
, 2G003AH05
, 4M106BA05
, 4M106BA14
, 4M106CB12
, 4M106DH17
, 4M106DH32
, 4M106DJ02
, 4M106DJ11
, 4M106DJ23
Cited by applicant (1)
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過渡光電流測定装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-337314
Applicant：三井東圧化学株式会社
Cited by examiner (5)
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