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J-GLOBAL ID:200903065560878257
照射光可変装置及び方法、並びに部品装着装置
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
青山 葆 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002245339
Publication number (International publication number):2003152398
Application date: Aug. 26, 2002
Publication date: May. 23, 2003
Summary:
【要約】【課題】 従来に比べて認識効率の向上を図り設備の生産稼動率の向上が可能な、照射光可変装置及び方法、並びに部品装着装置を提供する。【解決手段】 特定波長光照射装置110、撮像装置130、及び制御装置180を備え、撮像装置にて得た撮像画像情報に基づいて、上記特定波長光照射装置から撮像物190へ照射される撮像用光125の波長を変更することができる。したがって、上記撮像物上のマーク191が明瞭に認識できる撮像画像を生じさせる撮像用光を自動的に求めることができ、従来のようにフィルタの選定、交換は不要となり生産稼動率の向上が図れ、短時間で上記マークを明瞭に認識することができる。
Claim (excerpt):
光源(111)を有し、該光源からの発生光(121)の波長領域から抽出した特定波長の撮像用光(125)を撮像物(190)へ照射する特定波長光照射装置(110)と、上記特定波長光照射装置から照射された上記撮像用光にて上記撮像物を撮像する撮像装置(130)と、該撮像装置から得られた上記撮像物の撮像画像情報(132)に基づいて認識用マーク(191)と背景(192)とのコントラストを求め、該コントラストに基づいて上記特定波長光照射装置から照射される上記撮像用光の上記特定波長を変更する制御装置(180)と、を備えたことを特徴とする照射光可変装置。
IPC (2):
FI (2):
H05K 13/04 M
, H04N 5/238 Z
F-Term (14):
5C022AA01
, 5C022AB15
, 5C022AC42
, 5E313AA02
, 5E313AA11
, 5E313CC04
, 5E313DD03
, 5E313DD05
, 5E313EE03
, 5E313EE05
, 5E313FF31
, 5E313FF33
, 5E313FF40
, 5E313FG10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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基板マ-ク認識機構
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-000694
Applicant:芝浦メカトロニクス株式会社
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露光装置及び該露光装置を用いてデバイスを製造する方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-017361
Applicant:キヤノン株式会社
-
部品ライブラリの作成方法および作成装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-317558
Applicant:松下電器産業株式会社
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