放射線検出素子

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川芳樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000060707
Publication number (International publication number)：2000284053
Application date： Feb. 12, 1998
Publication date： Oct. 13, 2000
Summary：

【要約】【課題】シンチレータの防湿用に均一で製造が容易な保護膜を有する放射線検出素子を提供する。【解決手段】基板1上に2次元に受光素子2が配列され、この受光素子2上には、CsI柱状結晶のシンチレータ7が堆積されている。シンチレータ7の上部および側面を覆い、その外周の基板1部分にまで達するようにパリレン製の有機膜9が形成されており、この有機膜9はシンチレータ7の柱状結晶の隙間の少なくとも上部の隙間まで入り込んで形成されている。

Claim (excerpt)：

複数の受光素子を基板上に1次元あるいは2次元に配列して受光部を形成した受光素子アレイと、前記受光素子上に柱状結晶として堆積された放射線を光に変換するシンチレータ層と、前記シンチレータ層の上部および側面並びに前記基板の前記シンチレータ層外周部を覆い、前記柱状結晶の少なくとも上部の隙間に入り込んで形成されている有機膜と、を備えている放射線検出素子。

IPC (3)：

G01T 1/20 , G01T 7/00 , H01L 31/09

FI (5)：

G01T 1/20 D , G01T 1/20 B , G01T 1/20 E , G01T 7/00 A , H01L 31/00 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

反射および保護膜を有するソリッドステート放射線イメージャ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-222517 Applicant：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
X線検出素子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-267631 Applicant：浜松ホトニクス株式会社
特開昭62-073538

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