反射防止膜

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：阪本善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999163225
Publication number (International publication number)：2000352604
Application date： Jun. 10, 1999
Publication date： Dec. 19, 2000
Summary：

【要約】【課題】酸化物膜のみを用いて耐環境性に優れた反射防止膜を実現する。【解決手段】基板10上に、Al2 O3 を含む高屈折率層HとSiO2 を含む低屈折率層Lからなる交互多層膜20を積層する。基板10側から奇数層21、23、25、27が高屈折率層Hであり、偶数層22、24、26、28が低屈折率層Lである。波長193nmと波長248nmの光に対する低屈折率層Lの屈折率ns1、ns2と高屈折率層Hの屈折率na1、na2が以下の範囲であり、第6〜第8層の光学的膜厚をそれぞれ設計中心波長λ0 の約1/4に設定する。 1.51≦ns1≦1.571.68≦na1≦1.851.45≦ns2≦1.511.64≦na2≦1.79

Claim (excerpt)：

Al2 O3 を含む高屈折率層とSiO2 を含む低屈折率層からなる8層構造の交互多層膜を有し、波長193nmの光に対する前記低屈折率層の屈折率ns1と前記高屈折率層の屈折率na1がそれぞれ以下の式で表わされる範囲であり、1. 51≦ns1≦1. 571. 68≦na1≦1. 85波長248nmの光に対する前記低屈折率層の屈折率ns2と前記高屈折率層の屈折率na2がそれぞれ以下の式で表わされる範囲であって、1. 45≦ns2≦1. 511. 64≦na2≦1.79基板側から順に第1、第3、第5、第7層が前記高屈折率層、第2、第4、第6、第8層が前記低屈折率層であり、かつ、前記第6層、前記第7層および前記第8層の光学的膜厚がそれぞれ設計中心波長λ0 の約1/4であることを特徴とする反射防止膜。

F-Term (5)：

2K009AA09 , 2K009BB01 , 2K009BB02 , 2K009CC03 , 2K009DD04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

反射防止膜及びそれを施した光学系
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-093534 Applicant：キヤノン株式会社

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