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J-GLOBAL ID:200903065681005080
測定用セルおよびその製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
西岡 義明
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000002663
Publication number (International publication number):2001194296
Application date: Jan. 11, 2000
Publication date: Jul. 19, 2001
Summary:
【要約】【課題】 流路断面積が十分に小さく気密性が確実に保て、化学的に安定した測定室を有し、測定感度が高い測定用セルを得る。【解決手段】 ガラス基板1、2を接合して構成され、ガラス基板1の接合面にはフォトファブリケーション技術およびウェットエッチング技術により流路溝6が形成されるとともに、ガラス基板2には液体試料導入および排出のための貫通孔9、10が形成され、接合面にスパッタ法等により光学的に不透明なSi膜3をスリットとして形成する。さらに、ガラス基板1、2の接合面および流路溝6内面をスパッタ法により成膜したSiO2膜4、5で覆い、フッ酸水溶液を界面に介在させてガラス基板1、2を接合する。
Claim (excerpt):
液体試料を導入するための試料導入口と、導入された液体試料の流路と、液体試料を排出する排出口が設けられ、前記流路のうちの少なくとも一部の領域を測定室として用いる測定用のセルであって、この測定用セルの測定流路を、2枚の基板を接合することによって形成し、前記基板の接合面に、熱酸化以外の方法で酸化ケイ素薄膜を形成したことを特徴とする測定用セル。
IPC (4):
G01N 21/05
, G01N 21/33
, G01N 21/64
, G01N 30/74
FI (4):
G01N 21/05
, G01N 21/33
, G01N 21/64 Z
, G01N 30/74 A
F-Term (28):
2G043AA01
, 2G043CA03
, 2G043EA06
, 2G043EA13
, 2G043KA02
, 2G043KA03
, 2G043MA11
, 2G057AA01
, 2G057AB01
, 2G057AB03
, 2G057AB06
, 2G057AC01
, 2G057BA05
, 2G057BB01
, 2G057BB02
, 2G057BB06
, 2G057BD04
, 2G057CB03
, 2G057DA04
, 2G057DC07
, 2G059AA05
, 2G059BB04
, 2G059DD01
, 2G059DD12
, 2G059EE01
, 2G059HH02
, 2G059HH03
, 2G059LL04
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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微小流路素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-095864
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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部材接合法及びこの方法により製造した光学測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-063160
Applicant:株式会社島津製作所
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