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J-GLOBAL ID：200903065725810407

アミノ酸薄膜の製造方法および化学センサプローブ

Inventor： 杉本 岩雄 ,  瀬山 倫子 ,  中村 雅之
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 高山 道夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999113329
Publication number (International publication number)：2000304673
Application date： Apr. 21, 1999
Publication date： Nov. 02, 2000
Summary：

【要約】【課題】 アミノ酸等の揮発性有機溶剤に難溶な有機物質の構造を変化させることなく、原料分子の構造に起因する物理化学的情報を保持した状態で、基板との密着力の高いアミノ酸薄膜を形成させる技術、およびこの成膜技術に基づき、光学異性体の識別能力を具備し、匂い成分ガスをppmレベルで高感度に検出できる化学センサプローブを提供する。【解決手段】 本発明のアミノ酸薄膜の製造方法、化学センサプローブは、真空乾燥させたアミノ酸を、ヒータと水冷ジャケットにより構成される分子線セルを用いて真空中で加熱し、昇華させて任意の基板上に堆積させる。また、昇華されたアミノ酸を任意の基板上に堆積させる際に、プラズマビームを照射してなる。

Claim (excerpt)：

真空乾燥させたアミノ酸を、ヒータと水冷ジャケットにより構成される分子線セルを用いて真空中で加熱し、昇華させて任意の基板上に堆積させることを特徴とするアミノ酸薄膜の製造方法。

IPC (5)：

G01N 5/02 ,  C23C 14/12 ,  G01N 30/00 ,  C07C227/00 ,  C07C229/36

FI (5)：

G01N 5/02 A ,  C23C 14/12 ,  G01N 30/00 Z ,  C07C227/00 ,  C07C229/36

F-Term (7)：

4H006AA05 ,  4H006BS10 ,  4H006BU32 ,  4H006NB00 ,  4K029BA62 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• アミノ酸薄膜の形成方法及び薄膜を用いた化学センサプローブ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-144425   Applicant：日本電信電話株式会社