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J-GLOBAL ID：200903065816169097

表面検査装置

Inventor： 風間 彰 ,  櫛田 靖夫 ,  陶山 恒夫
Applicant, Patent owner： 日本鋼管株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000348180
Publication number (International publication number)：2002156333
Application date： Nov. 15, 2000
Publication date： May. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】 高信頼性の自動検査を実現するための調整作業を効率化し、短時間で確実に作動できる表面検査装置を提供すること。【解決手段】 表面検査装置は、鋼板表面を観測するセンサ部20、センサ部20における観測結果とその観測条件に基づいて鋼板10の表面の欠陥を検出する検出部30、前記観測結果及び観測条件を記録し、任意に再生する記録/再生部40、記録/再生部40が再生する観測結果及び観測条件に基づいて鋼帯表面を再度検査及び検出部30における検出結果を確認する予備検出部50とを備えており、記録/再生部40が記録を再生することで、過去の検査状態を再現、または創成できるため、表面検査装置の自動化のための調整作業を効率化できることを特徴としている。

Claim (excerpt)：

被検査体を製造するプロセスで用いられ、前記被検査体の表面に発生する欠陥をセンサを用いて光学的に検査する表面検査装置であって、前記センサの出力と製造条件に対応するデータとに基づいて、欠陥の有無を検出する検出装置と、前記センサから出力される少なくとも一部の検出データ、及び製造条件に対応するデータを記録するデジタル方式の記録装置と、前記記録装置に記録されたデータを再生して出力する再生装置とを具備し、前記再生装置で再生したデータを、前記検出装置における前記センサからのデータ、及び製造条件に対応するデータに代えて入力、または別の検出装置に入力することにより、製造時の検査状況を再現することを特徴とする表面検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/892 ,  B21C 51/00

FI (2)：

G01N 21/892 B ,  B21C 51/00 P

F-Term (12)：

2G051AA37 ,  2G051AA44 ,  2G051AB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CA11 ,  2G051CB01 ,  2G051DA13 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 設備ロギング装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-133972   Applicant：オムロン株式会社
• 疵検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-347247   Applicant：住友金属工業株式会社, オムロン株式会社