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J-GLOBAL ID：200903065835101800
ウエハの製造装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994050893
Publication number (International publication number)：1995263387
Application date： Mar. 22, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：
【要約】【目的】 ウエハの製造装置に係り、ウエハに付着している研磨剤が室内に浮遊することを防止して、研磨工程と洗浄工程とを連続させ、製造効率の向上、設備面積の縮小等を図る。【構成】 研磨装置3と洗浄装置4とを隣接配置し、これらの間に、両装置を隔離状態に区画する区画壁5を設けてなり、この区画壁5に、研磨装置3から洗浄装置4にウエハ2を受け渡すための連通部8を設け、連通部8を通過させられるウエハ2を湿らせる加湿手段17と、ウエハ2を研磨装置3から洗浄装置4に移動させる移動手段14とを設け、連通部8を通して洗浄装置4に移動させられるウエハ2から、洗浄装置4を含む空間内に塵埃が放出されないように保持する。
Claim (excerpt)：
ウエハを研磨する研磨装置と、研磨されたウエハを洗浄する洗浄装置とを隣接配置するとともに、これら研磨装置と洗浄装置との間に、各装置を含む空間を隔離状態に区画する区画壁を設けてなり、該区画壁に、研磨装置側と洗浄装置側とを連通するように形成され研磨装置から洗浄装置にウエハを受け渡すための連通部を設け、該連通部に、この連通部を通過させられるウエハを湿らせる加湿手段と、ウエハを研磨装置から洗浄装置に移動させる移動手段とを設けたことを特徴とするウエハの製造装置。
IPC (4)：
H01L 21/304 321
, H01L 21/304 341
, B08B 15/02
, B24B 37/04
