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J-GLOBAL ID：200903065876043963

結晶作製装置

Inventor： 雨宮 光陽
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998327467
Publication number (International publication number)：2000137101
Application date： Nov. 02, 1998
Publication date： May. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】 るつぼに入れた原料の固液界面の位置と、固液界面に対して垂直方向の温度勾配とを一定に保つことの可能な結晶作製装置を提供する。【解決手段】 本発明の結晶作製装置は、原料を入れたるつぼと、該るつぼを取り囲む様に配置されたヒーターとを備え、該るつぼを該ヒーターに対して引き下げることによって、該原料を該るつぼの下方から冷却して結晶を作製する装置において、前記るつぼの移動に伴い、該るつぼに入れた原料の固液界面付近を、前記ヒーター側から見た立体角が変わらないことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

原料を入れたるつぼと、該るつぼを取り囲む様に配置されたヒーターとを備え、該るつぼを該ヒーターに対して引き下げることによって、該原料を該るつぼの下方から冷却して結晶を作製する装置において、前記るつぼの移動に伴い、該るつぼに入れた原料の固液界面付近を、前記ヒーター側から見た立体角が変わらないことを特徴とする結晶作製装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-349198
  
• 結晶製造装置及び方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-240444   Applicant：キヤノン株式会社
• 半導体単結晶の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-330104   Applicant：住友電気工業株式会社