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J-GLOBAL ID：200903065994485970

基板処理装置の制御方法

Inventor： 森本 徹
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 五十嵐 孝雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995303458
Publication number (International publication number)：1997129707
Application date： Oct. 27, 1995
Publication date： May. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 処理ユニットから警報が発生した場合にも、処理中の基板に対するプロセス上の悪影響を防止する。【解決手段】 複数の処理ユニットの中のいずれかの処理ユニットが、異常を通知する警報を発生すると、搬送経路において警報発生ユニットまたは所定のスキップモード対象ユニットよりも下流側に位置する基板に対しては、搬送経路を完了するまで処理と搬送を継続する。一方、警報発生ユニットまたはスキップモード対象ユニットよりも上流側に位置する基板については搬送を中止する。

Claim (excerpt)：

処理対象の基板を予め設定された搬送経路に従って複数の処理ユニットに順次搬送しつつ処理する基板処理装置の制御方法であって、前記複数の処理ユニットの中のいずれかの処理ユニットの異常を通知する警報の発生に応じて、前記搬送経路において警報発生ユニットより下流側に位置する基板に対しては前記搬送経路を完了するまで処理と搬送とを継続するとともに、前記警報発生ユニットより上流側に位置する基板については搬送を中止するスキップモードを備える、基板処理装置の制御方法。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  B65G 43/08

FI (2)：

H01L 21/68 A ,  B65G 43/08 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 半導体製造装置に於ける基板搬送方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-265513   Applicant：国際電気株式会社
• 特開平3-257945
  
• 搬送制御方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-015962   Applicant：ソニー株式会社
• 特開平3-274746