Pat
J-GLOBAL ID:200903066167667364

チオール化合物およびその化合物を用いた感光性組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 大家 邦久 ,  小澤 信彦 ,  林 篤史
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005309590
Publication number (International publication number):2006151958
Application date: Oct. 25, 2005
Publication date: Jun. 15, 2006
Summary:
【課題】高感度で、アルカリ現像時の細線パターンの線幅保持性、すなわち現像マージンに優れる感光性組成物を提供する。【解決手段】式(1)(式中、R1〜R4、Xおよびnは明細書中の記載と同じ。)で示されるチオール化合物、その製造方法およびその化合物を用いた感光性組成物。【選択図】なし
Claim (excerpt):
式(1)
IPC (4):
C07C 323/52 ,  C07C 319/12 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/004
FI (4):
C07C323/52 ,  C07C319/12 ,  G03F7/028 ,  G03F7/004 503Z
F-Term (28):
2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AB01 ,  2H025AB09 ,  2H025AB13 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC53 ,  2H025BC85 ,  2H025CA01 ,  2H025CA02 ,  2H025CA20 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA31 ,  2H025CB43 ,  4H006AA01 ,  4H006AA02 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76 ,  4H006AC48 ,  4H006BA52 ,  4H006BA66 ,  4H006BB11 ,  4H039CA66 ,  4H039CD30
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
Show all
Cited by examiner (4)
Show all
Article cited by the Patent:
Return to Previous Page