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J-GLOBAL ID:200903066167667364
チオール化合物およびその化合物を用いた感光性組成物
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
大家 邦久
, 小澤 信彦
, 林 篤史
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005309590
Publication number (International publication number):2006151958
Application date: Oct. 25, 2005
Publication date: Jun. 15, 2006
Summary:
【課題】高感度で、アルカリ現像時の細線パターンの線幅保持性、すなわち現像マージンに優れる感光性組成物を提供する。【解決手段】式(1)(式中、R1〜R4、Xおよびnは明細書中の記載と同じ。)で示されるチオール化合物、その製造方法およびその化合物を用いた感光性組成物。【選択図】なし
Claim (excerpt):
式(1)
IPC (4):
C07C 323/52
, C07C 319/12
, G03F 7/028
, G03F 7/004
FI (4):
C07C323/52
, C07C319/12
, G03F7/028
, G03F7/004 503Z
F-Term (28):
2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AB01
, 2H025AB09
, 2H025AB13
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC32
, 2H025BC42
, 2H025BC53
, 2H025BC85
, 2H025CA01
, 2H025CA02
, 2H025CA20
, 2H025CA27
, 2H025CA28
, 2H025CA31
, 2H025CB43
, 4H006AA01
, 4H006AA02
, 4H006AA03
, 4H006AB76
, 4H006AC48
, 4H006BA52
, 4H006BA66
, 4H006BB11
, 4H039CA66
, 4H039CD30
Patent cited by the Patent: