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J-GLOBAL ID:200903066176350225
導波装置、電気特性測定装置及び電気特性測定方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
阿部 美次郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996068106
Publication number (International publication number):1997257851
Application date: Mar. 25, 1996
Publication date: Oct. 03, 1997
Summary:
【要約】【課題】 使用形態の試料の電気特性を容易、かつ、迅速に高精度で測定する。【解決手段】 空胴共振器または導波管で構成される導波装置1は、導波空間11を形成する金属壁面12に開口部13を有している。開口部13は、使用形態を有する試料2を、導波空間11の内部に導入し得る大きさを有する。試料2を挿入した導波装置2を励振すると共に、導波装置1の出力信号を解析することにより、試料2の電気特性を測定する。
Claim (excerpt):
試料の電気特性を測定するために用いられる導波装置であって、導波空間を形成する金属壁面に、少なくとも一つの開口部を有しており、前記開口部は、使用形態を有する前記試料を、前記導波空間内に導入し得る大きさを有する導波装置。
IPC (5):
G01R 27/26
, G01R 29/08
, G01R 31/00
, G01R 31/28
, H01P 7/06
FI (5):
G01R 27/26 Z
, G01R 29/08 Z
, G01R 31/00
, H01P 7/06
, G01R 31/28
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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特開平1-163645
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気密高周波窓の誘電体円板検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-308304
Applicant:三菱電機株式会社
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