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J-GLOBAL ID：200903066206546731

微小機構部品及びその製造方法

Inventor： 小田 拓嗣 ,  小林 実 ,  太田 斎
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994267003
Publication number (International publication number)：1996127073
Application date： Oct. 31, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】 簡便に高精度で形成できる、寸法が数mm以下でμm級の精度を要する3次元的に微細で複雑な形状の微小機構部品及びその製造方法を提供する。【構成】 基材に感光性樹脂膜1を形成し、所望のパターンに露光する工程と、樹脂膜の混合を防止し、その露光を妨げる中間膜2を形成する工程を繰り返し、樹脂膜1と中間膜2からなる多層構造物を形成した後、樹脂の現像液に浸漬して露光部を選択除去して、立体形状の微小機構部品を得る。

Claim (excerpt)：

感光性樹脂膜がこの感光性樹脂膜の混合を防止するとともに上記感光性樹脂膜を露光する光を遮る中間膜を介して多層積層され、上記感光性樹脂膜と中間膜が選択除去され所望の立体形状に形成された微小機構部品。

IPC (3)：

B29C 67/00 ,  B29C 35/08 ,  B29K105:24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-108519
  
• 特開昭62-032009
  
• 微細構造体の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-253342   Applicant：住友電気工業株式会社
• 微小構造物製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-003349   Applicant：株式会社リコー