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J-GLOBAL ID：200903066421021844

重合体組成物および研磨パッド

Inventor： 長谷川 亨 ,  中西 英雄 ,  小林 豊 ,  河村 知男 ,  小川 俊博
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 大井 正彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999126842
Publication number (International publication number)：2000034416
Application date： May. 07, 1999
Publication date： Feb. 02, 2000
Summary：

【要約】【課題】 優れたスラリー保持性を有し、しかも、高い硬度を有する研磨パッドを得ることのできる重合体組成物を提供すること。研磨速度が高く、しかも、被処理物に対して、平坦性の高い表面を形成することができる研磨パッドを提供すること。【解決手段】 本発明の重合体組成物は、ショアーD硬度が35以上である非水溶性の熱可塑性重合体中に、5〜60体積%の水溶性物質が分散されてなり、当該水溶性物質の平均粒径が0.1〜500μmであることを特徴とする。本発明の研磨パッドは、上記の重合体組成物よりなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

ショアーD硬度が35以上である非水溶性の熱可塑性重合体中に、5〜60体積%の水溶性物質が分散されてなり、当該水溶性物質の平均粒径が0.1〜500μmであることを特徴とする重合体組成物。

IPC (4)：

C08L101/00 ,  B24B 37/00 ,  C08J 5/14 ,  C08K 3/24

FI (4)：

C08L101/00 ,  B24B 37/00 C ,  C08J 5/14 ,  C08K 3/24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 改良研磨パッド及びこれに関連する方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2000-507086   Applicant：ローデルホールディングスインコーポレイテッド