走査型プローブ顕微鏡及び光学顕微鏡

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995111744
Publication number (International publication number)：1996304420
Application date： May. 10, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】プローブを試料に対して高精度に位置決め可能な走査型プローブ顕微鏡及び光学顕微鏡を提供する。【構成】蛍光処理が施されたカンチレバー19と、このカンチレバーを用いてステージ23上の試料25に対するSPM測定を行うSPM装置27と、所定波長の励起光を出射可能な照明装置35とを備えており、この照明装置からの励起光によって、カンチレバー及び試料から所定の蛍光像が発生して、接眼レンズ51の観察視野内に表示される。

Claim (excerpt)：

試料に対してプローブを走査させることによって、前記試料の表面情報を観察又は測定する走査型プローブ顕微鏡であって、蛍光標識されたプローブを有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 101

FI (2)：

G01N 37/00 A , G01B 21/30 101 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

走査型近視野顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-053810 Applicant：株式会社ニコン
微小偏光光源
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-156694 Applicant：松下電器産業株式会社
蛍光走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-188065 Applicant：工業技術院長, オリンパス光学工業株式会社

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