Pat

J-GLOBAL ID：200903066589966690

物体表面の欠陥検出方法及び装置

Inventor： 吉村 一成 ,  結城 康之
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 倉田 政彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998014623
Publication number (International publication number)：1999211442
Application date： Jan. 27, 1998
Publication date： Aug. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】良品画像を予め記憶しておかなくても、物体表面の欠陥を検出することができ、且つ誤検出の可能性を低減し、微小な欠陥も検出可能な物体表面の欠陥検出方法および装置を提供する。【解決手段】物体表面に法線方向に対して傾斜した方向から複数本の線状の光ビームを投射し、物体表面からの反射光をスクリーン7上に複数本の線状の反射パターンとして投影させ、スクリーン7上の反射パターンを撮像装置8により撮像して得た画像データを画像処理して反射パターンの不連続部を検出することにより物体表面の欠陥を検出する。

Claim (excerpt)：

物体表面に法線方向に対して傾斜した方向から複数本の線状の光ビームを投射し、物体表面からの反射光をスクリーン上に複数本の線状の反射パターンとして投影させ、スクリーン上の反射パターンを撮像装置により撮像して得た画像データを画像処理して反射パターンの不連続部を検出することにより物体表面の欠陥を検出することを特徴とする物体表面の欠陥検出方法。

IPC (4)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00

FI (5)：

G01B 11/30 A ,  G01N 21/88 A ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/64 C ,  G06F 15/70 330 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特表平2-503035
  
• 表面形状検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-125479   Applicant：キヤノン株式会社
• シート板表面のうねり検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-154623   Applicant：東洋紡績株式会社