感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福沢俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992229442
Publication number (International publication number)：1994059444
Application date： Aug. 06, 1992
Publication date： Mar. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】高い解像度と高い感度を有し、且つ良好なレジストパターンを形成できるとともに、エッチング液に侵されない高い耐酸性と基板に対する高い接着性とを具備した、ネガ型ホトレジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 (A)ノボラック樹脂、(B)前記(A)成分を架橋しうる化合物、(C)感放射線性酸発生剤、並びに(D)?@エポキシ樹脂および?Aシランカップリング剤の少なくとも1種を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)ノボラック樹脂、(B)前記(A)成分を架橋しうる化合物、(C)感放射線性酸発生剤、並びに(D)?@エポキシ樹脂および?Aシランカップリング剤の少なくとも1種を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/028 , G03F 7/032 501 , G03F 7/038 505 , G03F 7/075 501 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

特開平4-134347
特開平4-163552
特開平4-162040

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