製造システムおよび製造方法および製造装置の操作方法および発光装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003028152
Publication number (International publication number)：2003301259
Application date： Feb. 05, 2003
Publication date： Oct. 24, 2003
Summary：

【要約】【課題】極めて高純度のEL材料を用いて蒸着を行い、発光素子の信頼性及び輝度を高める製造システムを提供する。また、EL材料を効率よく使用する。【解決手段】ガラス瓶を用いず、材料メーカー18で蒸着装置に設置される予定の容器(第1の容器11a)にEL材料12を直接、昇華精製または収納し、搬送後に発光装置メーカー19で蒸着を行う製造システムとすることで、高純度なEL材料への不純物混入防止を実現するものである。また、ガラス瓶から容器に移しかえる作業をなくすことができる。また、容器を材料メーカーに回収させて、容器に残ったEL材料を取り出し、再利用する製造システムとしてもよい。

Claim (excerpt)：

材料メーカーにて、第1の容器内に蒸着材料を精製または収納し、さらに蒸着材料を収納した前記第1の容器を第2の容器で密閉する第1段階と、前記第2の容器を発光装置メーカーに搬送する第2段階と、前記発光装置メーカーにて、製造装置内に前記第2の容器を導入し、前記第2の容器の中から前記第1の容器を取り出して配置する第3段階と、前記製造装置内で前記第1の容器を加熱して蒸着を行う第4段階と、を有することを特徴とする製造システム。

IPC (4)：

C23C 14/24 , C23C 14/00 , H05B 33/10 , H05B 33/14

FI (4)：

C23C 14/24 Z , C23C 14/00 B , H05B 33/10 , H05B 33/14 A

F-Term (10)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029BA62 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DB06 , 4K029DB12 , 4K029DB15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開平4-083871
真空蒸着用蒸着材料収納容器及び真空蒸着装置、並びに真空蒸着装置への蒸着材料供給方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-282934 Applicant：クラスターイオンビームテクノロジー株式会社, ロック技研工業株式会社
製造装置、クリーニング方法、および再利用方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-005148 Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所

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