固体撮像装置およびその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：青山葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993241030
Publication number (International publication number)：1995099296
Application date： Sep. 28, 1993
Publication date： Apr. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】高感度かつ光の利用率の高い固体撮像装置およびその製造方法を提供する。【構成】 (A)光電変換部41の上に、絶縁膜42,転送電極43,遮光膜44,保護膜45,平坦化層51を形成し、平坦化層51上に凹レンズ層52を格子状パターンに形成する。(B)格子状の凹レンズ層52を熱溶融して、凹型マイクロレンズ52にする。(C)凹型レンズ52の上に、凹型レンズ52よりも屈折率が小さな樹脂層53とバッファー層54と凸型マイクロレンズ57を順に形成する。【効果】凸型マイクロレンズ57が集光した光を、凹型マイクロレンズ52が、光電変換部41に対する垂直入射光に近づける。

Claim (excerpt)：

光電変換部を含む複数の画素を有し、上記光電変換部の上に凸型マイクロレンズが設けられた固体撮像装置において、上記光電変換部と上記凸型マイクロレンズとの間に形成され、上記凸型マイクロレンズを支持する支持層と、上記支持層の直下に連なり、少なくとも上記支持層を構成する材料よりも屈折率の高い材料で作製した凹型マイクロレンズ層とを備えたことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2)：

H01L 27/14 , G02B 27/00

FI (2)：

H01L 27/14 D , G02B 27/00 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開平4-199874
固体撮像装置とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-298135 Applicant：三菱電機株式会社

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