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J-GLOBAL ID：200903067113782270

微粒子収集装置

Inventor： 岩崎 元明 ,  松尾 純一 ,  宇治川 友一
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 東野 博文
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997240943
Publication number (International publication number)：1999083694
Application date： Sep. 05, 1997
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 捕集力の向上を図った微粒子収集装置を提供する。【解決手段】 平板上に付着した微粒子を気体によって浮上させる吹き出しノズルと、この吹き出しノズルから吹き出した気体によって浮上した微粒子を吸引する吸引ノズルと、前記吸引ノズルの後段にカウンター及びフィルタを介して接続された吸引ポンプからなる微粒子収集装置において、前記吸引ノズルとカウンターの間にサイクロンを配設した。

Claim (excerpt)：

平板上に付着した微粒子を気体によって浮上させる吹き出しノズルと、この吹き出しノズルから吹き出した気体によって浮上した微粒子を吸引する吸引ノズルと、前記吸引ノズルの後段にカウンター及びフィルタを介して接続された吸引ポンプからなる微粒子収集装置において、前記吸引ノズルとカウンターの間にサイクロンを配設したことを特徴とする微粒子収集装置。

FI (3)：

G01N 1/02 D ,  G01N 1/02 B ,  G01N 1/02 P

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• パーティクルサンプラ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-302747   Applicant：横河電機株式会社
• ダストサンプラー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-091126   Applicant：横河電機株式会社