パーティクルサンプラ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡辺正康
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995302747
Publication number (International publication number)：1997145555
Application date： Nov. 21, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】短時間で最適にウエハやガラス基板上等に付着したパーティクルをフィルタ上に捕集することを目的にする。【解決手段】被測定体上のパーティクルを吸引ノズルによって吸引し、吸引したパーティクルをフィルタ上に捕集するパーティクルサンプラにおいて、前記吸引ノズルと前記フィルタとの間に設けられていて、前記吸引ノズルで吸引したパーティクルの数を計数するカウンタを設けたことを特徴としている。

Claim (excerpt)：

被測定体上のパーティクルを吸引ノズルによって吸引し、吸引したパーティクルをフィルタ上に捕集するパーティクルサンプラにおいて、前記吸引ノズルと前記フィルタとの間に設けられていて、前記吸引ノズルで吸引したパーティクルの数を計数するカウンタ、を設けたことを特徴としたパーティクルサンプラ。

IPC (4)：

G01N 1/02 , G01N 15/14 , G06M 11/00 , G01N 21/73

FI (4)：

G01N 1/02 D , G01N 15/14 Z , G06M 11/00 A , G01N 21/73

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

ダストサンプラー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-091126 Applicant：横河電機株式会社
付着物検査装置および付着物検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-244844 Applicant：菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社, 三菱電機株式会社
レーザ磁気免疫測定装置における試料の位置制御方法およびレーザ磁気免疫測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-060708 Applicant：株式会社フジクラ, 日本電信電話株式会社

Show all

Return to Previous Page