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J-GLOBAL ID：200903067254924540

金属被覆液晶ポリマーフィルムの製造方法

Inventor： 渡邉 寛人
Applicant, Patent owner： 住友金属鉱山株式会社
Agent (2)： 押田 良輝 ,  押田 良隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004118339
Publication number (International publication number)：2005297405
Application date： Apr. 13, 2004
Publication date： Oct. 27, 2005
Summary：

【課題】 電子絶縁材料として有用であり、耐熱性、耐薬品性、電気的性質(電気絶縁性、誘電的性質等)等に優れ、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの上にスパッタリング法で作製できる金属シード層、該金属シード層と該金属シード層の上にスパッタリング法により形成される銅導電層と、さらに該銅導電層の上に湿式めっき法で作製される銅導電層を積層した状態でも銅導電層との親和性、密着性に優れた金属被覆液晶ポリマーフィルムの製造方法を提供する。【解決手段】 熱可塑性液晶ポリマーフィルム表面に酸素ガス圧0.6〜2.5Paの雰囲気下で放電プラズマ処理を施した後、スパッタリング法により合計膜厚が0.05〜1μmとなるように金属シード層と銅導電層とを順次形成し、次いで湿式めっき法により合計膜厚が1〜30μmとなるように銅導電層を形成したことを特徴とする金属被覆液晶ポリマーフィルムの製造方法である。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

熱可塑性液晶ポリマーフィルムと、該フィルム上に形成された金属シード層と、該金属シード層上に形成された銅導電層とからなる金属被覆液晶ポリマーフィルムの製造方法において、熱可塑性液晶ポリマーフィルム表面に酸素ガス圧0.6〜2.5Paの雰囲気下で放電プラズマ処理を施した後、スパッタリング法により合計膜厚が0.05〜1μmとなるように金属シード層と銅導電層とを順次形成し、次いで湿式めっき法により合計膜厚が1〜30μmとなるように銅導電層を形成したことを特徴とする金属被覆液晶ポリマーフィルムの製造方法。

IPC (4)：

B32B15/08 ,  C08J7/00 ,  C23C14/06 ,  C23C18/20

FI (5)：

B32B15/08 P ,  C08J7/00 306 ,  C08J7/00 ,  C23C14/06 N ,  C23C18/20 Z

F-Term (69)：

4F073AA01 ,  4F073BA31 ,  4F073BB01 ,  4F073CA01 ,  4F100AB01B ,  4F100AB17C ,  4F100AK41A ,  4F100AS00A ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100BA25B ,  4F100BA25C ,  4F100DD07A ,  4F100EH661 ,  4F100EH712 ,  4F100EJ611 ,  4F100GB43 ,  4F100JG01C ,  4F100YY00A ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C ,  4K022AA13 ,  4K022AA43 ,  4K022BA07 ,  4K022BA08 ,  4K022BA14 ,  4K022BA32 ,  4K022BA36 ,  4K022CA06 ,  4K022CA09 ,  4K022CA12 ,  4K022DA01 ,  4K022DA09 ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA08 ,  4K029BA25 ,  4K029BB02 ,  4K029BD02 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01 ,  4K029FA05 ,  4K029GA00 ,  4K044AA16 ,  4K044AB02 ,  4K044BA02 ,  4K044BA06 ,  4K044BB03 ,  4K044BC05 ,  4K044CA07 ,  4K044CA13 ,  4K044CA15 ,  4K044CA18 ,  5E343AA02 ,  5E343AA16 ,  5E343AA36 ,  5E343AA39 ,  5E343BB14 ,  5E343BB17 ,  5E343BB24 ,  5E343BB71 ,  5E343DD25 ,  5E343DD43 ,  5E343DD80 ,  5E343EE36 ,  5E343GG02 ,  5E343GG04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 特開平1-236246号公報
  
• 熱可塑性液晶ポリマーフィルムおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-225998   Applicant：株式会社クラレ
• 液晶ポリマーのめっき方法およびそれに関連する組成物
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2000-529476   Applicant：イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー

Cited by examiner (4)

• フレキシブルプリント配線用基板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-122411   Applicant：東洋メタライジング株式会社
• 金属層付き樹脂体および配線体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-244813   Applicant：大日本印刷株式会社
• 複層フィルム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-260266   Applicant：富士写真フイルム株式会社
• フレキシブルプリント回路基板及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-167632   Applicant：松下電器産業株式会社