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J-GLOBAL ID：200903067337786734

半導体積層基板,半導体結晶基板および半導体素子ならびにそれらの製造方法

Inventor：
河合 弘治

About 河合 弘治


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (1)： 藤島 洋一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999209202
Publication number (International publication number)：2001036139
Application date： Jul. 23, 1999
Publication date： Feb. 09, 2001
Summary：
【要約】【課題】 エッチングにより容易に基礎基板を分離することができる半導体発光素子積層基板,半導体素子およびそれらの製造方法、ならびにそれにより得られた半導体結晶基板,半導体素子およびそれらの製造方法を提供する。【解決手段】 サファイアよりなる基礎基板11に、AlNよりなる分離層12およびGaNよりなるバッファ層13を介してGaNよりなる半導体結晶層14を成長させる。分離層12およびバッファ層13は線状に分散して形成され、それらの側面にはSiO2 よりなる成長防止膜15を介してエッチング剤の流通孔16が設けられている。これにより、エッチング剤が流通孔16を流通し成長防止膜15および分離層12がエッチングされ、容易に基礎基板11が分離される。
Claim (excerpt)：
基礎基板に分離層を介して半導体結晶層が形成された半導体積層基板であって、前記分離層をエッチングするエッチング剤が流通するための流通孔を有することを特徴とする半導体積層基板。
F-Term (7)：
5F041AA31 ,  5F041CA05 ,  5F041CA34 ,  5F041CA40 ,  5F041CA46 ,  5F041CA65 ,  5F041CA74
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)
  • 基板接合方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-322522   Applicant：日本電気株式会社
  • GaN系結晶基板の製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-188776   Applicant：三菱電線工業株式会社
  • 特開昭52-027370

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