Pat
J-GLOBAL ID：200903067419525289
垂直磁気記録ヘッドの製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
野▲崎▼ 照夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000394737
Publication number (International publication number)：2002197610
Application date： Dec. 26, 2000
Publication date： Jul. 12, 2002
Summary：
【要約】【課題】 従来の垂直記録型の垂直磁気記録ヘッドでは、スキュー角が発生したときにサイドフリンジングが発生していた。【解決手段】主磁極層24の記録媒体との対向面での正面形状を略逆台形にすることにより、スキュー角が発生しても側辺24f1がトラックの幅方向にはみ出すことが防止でき、サイドフリンジングを抑えることができる。
Claim (excerpt)：
以下の工程を有することを特徴とする垂直磁気記録ヘッドの製造方法。(a)磁性材料で補助磁極層を形成する工程、(b)記録媒体との対向面となる面よりも奥側で、前記補助磁極層の上に磁性材料で接続層を形成する工程、(c)前記記録媒体との対向面となる面よりも奥側の領域にコイル層を形成する工程、(d)前記補助磁極層上に絶縁層を積層し、この絶縁層上にメッキ下地層を成膜する工程、(e)前記メッキ下地層の上にレジスト層を形成して、前記対向面となる部分で、前記レジスト層に、トラック幅方向の内幅寸法が、補助磁極層から離れるにしたがって徐々に広がり、且つ前記対向面から奥側へ所定の奥行きを有する溝を形成する工程、(f)前記溝内で、主磁極層をメッキで形成する工程、(g)前記主磁極層の中心線に対して所定の角度だけ傾いた方向からミリング粒子を入射させるミリングで、前記主磁極層の上面を平坦化させる工程、(h)前記レジスト層を除去する工程、(i)前記主磁極層と前記接続層を、直接又は前記主磁極層の上と前記接続層の上にヨーク層を形成して、磁気的に接続する工程、
FI (2)：
G11B 5/31 C
, G11B 5/31 D
5D033AA01
, 5D033BA07
, 5D033BA12
, 5D033CA00
, 5D033CA02
, 5D033DA04
, 5D033DA08
, 5D033DA31
