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J-GLOBAL ID：200903067431097470

シンチレータパネル及び放射線イメージセンサ

Inventor：
佐藤 宏人

About 佐藤 宏人

, 
鈴木 孝治

About 鈴木 孝治

, 
夏目 好夫

About 夏目 好夫

, 
高林 敏雄

About 高林 敏雄


Applicant, Patent owner：
浜松ホトニクス株式会社

About 浜松ホトニクス株式会社


Agent (3)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  石田 悟
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007121068
Publication number (International publication number)：2007279051
Application date： May. 01, 2007
Publication date： Oct. 25, 2007
Summary：
【課題】反射膜としての金属薄膜の安定性を向上させたシンチレータパネルとこのシンチレータパネルを用いた放射線イメージセンサを提供する。【解決手段】放射線透過性の基板10の一方の表面上に、所定波長の光を反射する金属薄膜12が配置され、基板10および金属薄膜12は、これらを包み込むように設けられた保護膜14bによって封止されている。この保護膜14b上には放射線を金属薄膜12で反射し得る波長を含む光に変換するシンチレータ16が堆積されており、保護膜14およびシンチレータ16は、これらを包み込むように設けられた耐湿保護膜18によって封止されている。【選択図】図4
Claim (excerpt)：
放射線透過性の基板と、前記基板上に設けられた放射線透過性で所定波長の光を反射する金属薄膜と、前記金属薄膜上に設けられた保護膜と、前記保護膜上に堆積され、放射線を前記金属薄膜で反射し得る波長を含む光に変換する多数の柱状結晶からなるシンチレータと、前記基板とともに前記シンチレータを覆う耐湿保護膜と、を備え、前記保護膜は、前記金属薄膜と前記シンチレータとの接触を防止しているシンチレータパネルにおいて、 前記基板および前記金属薄膜は、これらを包み込むように設けられた前記保護膜によって封止され、 当該保護膜および前記シンチレータは、これらを包み込むように設けられた前記耐湿保護膜によって更に封止されていることを特徴とするシンチレータパネル。
IPC (4)：
G21K 4/00 ,  G01T 1/20 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/32
FI (5)：
G21K4/00 B ,  G01T1/20 D ,  G01T1/20 G ,  H01L27/14 D ,  H04N5/32
F-Term (38)：
2G083AA02 ,  2G083AA04 ,  2G083AA08 ,  2G083BB01 ,  2G083CC01 ,  2G083CC03 ,  2G083CC04 ,  2G083CC05 ,  2G083CC07 ,  2G083CC08 ,  2G083DD01 ,  2G083DD16 ,  2G083EE03 ,  2G083EE08 ,  2G088EE01 ,  2G088FF02 ,  2G088GG16 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ10 ,  2G088JJ35 ,  2G088JJ37 ,  2G088LL12 ,  2G088LL30 ,  4M118AA08 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA32 ,  4M118CB11 ,  4M118FA06 ,  4M118GA10 ,  4M118GD15 ,  5C024AX12 ,  5C024CY47 ,  5C024CY48 ,  5C024GX07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)

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