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J-GLOBAL ID：200903067465043396
3次元形状測定装置及び方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大塚 康徳 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997332002
Publication number (International publication number)：1999160038
Application date： Dec. 02, 1997
Publication date： Jun. 18, 1999
Summary：
【要約】【課題】被測定物の異なる部分の表面形状を同時に測定することができる3次元形状測定装置を提供する。【解決手段】 2組のプローブ21u,21dと、この2組のプローブを、夫々独立に3次元的に移動させるための2組の移動機構25u,25d,31,34と、2組のプローブの夫々の位置を測定する2組の測定装置4u,4d,5u,5d,6u,6dとを具備し、2組のプローブを夫々被測定物1の異なる位置に接触させ、被測定物1の2つ以上の部分の表面形状を同時に測定する。
Claim (excerpt)：
【請求項1】 2組のプローブと、該2組のプローブを、夫々独立に3次元的に移動させるための2組の移動手段と、前記2組のプローブの夫々の位置を測定する2組の測定手段とを具備し、前記2組のプローブを夫々被測定物の異なる位置に接触させ、該被測定物の2つ以上の部分の表面形状を同時に測定することを特徴とする3次元形状測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
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特開平4-083101
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表面形状測定の方法および装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平3-220011
Applicant：キヤノン株式会社
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