セラミック接合体とその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高雄次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999174585
Publication number (International publication number)：2001010872
Application date： Jun. 21, 1999
Publication date： Jan. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】板に対して接合される管又は棒の位置精度や垂直度が高いと共に、接合部の耐食性、耐熱性に優れるセラミック接合体を提供する。【解決手段】片面に周面を外方へ拡開したテーパー面3とする凹部4が形成され、粒界成分が酸化イットリウムアルミニウム相のAlN焼結体からなる板1と、その凹部のテーパー面と係合可能なテーパー面5が一端部の外周に形成され、上記板と同様のAlN焼結体からなる管2又棒とが、両テーパー面間にAlNと酸化イットリウムアルミニウムを主成分とする接合剤層を介在して接合されている。

Claim (excerpt)：

片面に周面を外方へ拡開したテーパー面とする凹部が形成され、粒界成分が酸化イットリウムアルミニウム相のAlN焼結体からなる板と、その凹部のテーパー面と係合可能なテーパー面が一端部の外周に形成され、上記板と同様のAlN焼結体からなる管又は棒とが、両テーパー面間にAlNと酸化イットリウムアルミニウムを主成分とする接合剤層を介在して接合されていることを特徴とするセラミック接合体。

IPC (2)：

C04B 37/00 , H01L 21/68

FI (2)：

C04B 37/00 A , H01L 21/68 N

F-Term (17)：

4G026BA16 , 4G026BB16 , 4G026BC01 , 4G026BD12 , 4G026BF04 , 4G026BF06 , 4G026BF44 , 4G026BG04 , 4G026BG25 , 4G026BH13 , 5F031DA13 , 5F031EA01 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA10 , 5F031HA17 , 5F031HA37

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

AlN焼結体用接合剤、その製造方法及びそれを用いたAlN焼結体の接合方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-242077 Applicant：東芝セラミックス株式会社
特開平3-279272
特開平3-206302

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