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J-GLOBAL ID：200903067846440243

原子間力顕微鏡

Inventor：
根岸 真人

About 根岸 真人


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006038779
Publication number (International publication number)：2007218707
Application date： Feb. 16, 2006
Publication date： Aug. 30, 2007
Summary：
【課題】計測光を反射するプローブに光学系の焦点を追従させることで測定精度を向上させる。【解決手段】プローブ22の反射面で計測光を反射させ、プローブ22と被測定物1の間に作用する原子間力を利用して被測定物1の表面形状を測定する。プローブ22を駆動する第1のスキャナ10とは別に、光学系の焦点位置を移動させる第2のスキャナ26を設けて、第1、第2のスキャナ10、26の制御量の相関を表わす位置変換データをあらかじめ求めておく。第1、第2のスキャナ10、26を同期的に制御することで、プローブ22に光学系の焦点を追従させる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
反射面を有するプローブと、光源からの計測光を前記プローブの前記反射面に集光させるための光学系と、前記光学系を保持するハウジングと、前記ハウジングに保持され、前記プローブをX、Y、Z方向に駆動するためのプローブスキャナと、前記プローブの前記反射面で反射した前記計測光を検出する光検出手段と、前記光学系の焦点位置を移動させるための焦点位置移動手段と、前記焦点位置移動手段を前記プローブスキャナと同期的に制御する制御手段と、を有し、前記焦点位置移動手段によって前記光学系の前記焦点位置を移動させながら、前記光検出手段の出力に基づいて前記プローブスキャナを駆動し、前記プローブの変位を計測することを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (2)：
G01N 13/16 ,  G01B 21/30
FI (2)：
G01N13/16 A ,  G01B21/30
F-Term (10)：
2F069AA60 ,  2F069DD12 ,  2F069GG04 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069LL06 ,  2F069MM04 ,  2F069MM32
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 米国特許第5560244号明細書
  • 原子間力顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-114924   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
Cited by examiner (4)
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