走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：菅井英雄 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000388235
Publication number (International publication number)：2002188987
Application date： Dec. 21, 2000
Publication date： Jul. 05, 2002
Summary：

【要約】【課題】2次元的な走査を行うXYピエゾスキャナと高さ方向の制御を行うためのZピエゾスキャナとの間にレーザ光源を配置して走査するプローブ走査方式を用いた走査型プローブ顕微鏡において、2次元走査時に生じるカンチレバーの変位量と、レーザ光のスポットの位置の変位量のズレをキャンセルする。【解決手段】Zスキャナ5の圧電体には、Z方向伸縮用電極の他に、位置ズレ補正用電極20が形成されている。位置ズレ補正用電極20には、X方向位置ズレ補正用電極と、Y方向位置ズレ補正用電極がある。XYスキャナ4により走査を行う際、Zスキャナ5の位置ズレ補正用電極20に適宜な電圧を印加し、カンチレバー1を、X方向及び/またはY方向に、カンチレバー1の変位量と、レーザ光のスポット位置の変位量のズレをキャンセルできるだけ大きく変位させる。

Claim (excerpt)：

カンチレバーと、カンチレバーの高さ方向の制御を行うためのZピエゾスキャナと、レーザ光源と、カンチレバーとレーザ光源を一体として2次元的な走査を行うXYピエゾスキャナとを備える走査型プローブ顕微鏡であって、Zピエゾスキャナには、XYピエゾスキャナによる走査時に生じるカンチレバーの変位量と、レーザ光源からのレーザ光のスポット位置の変位量のズレをキャンセルするための位置ズレ補正用電極が形成されてなることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2)：

G01N 13/10 , G01B 21/30

FI (2)：

G01N 13/10 C , G01B 21/30

F-Term (9)：

2F069AA57 , 2F069AA60 , 2F069GG07 , 2F069GG62 , 2F069HH04 , 2F069HH30 , 2F069JJ08 , 2F069LL03 , 2F069MM32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

微動機構
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-027522 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-144886 Applicant：株式会社島津製作所
走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-178446 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

Show all

Return to Previous Page