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J-GLOBAL ID：200903067867422156

弾性表面波装置

Inventor： 矢辺 貴幸
Applicant, Patent owner： 株式会社ジャパンエナジー
Agent (1)： 並川 啓志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994158265
Publication number (International publication number)：1996008681
Application date： Jun. 17, 1994
Publication date： Jan. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】ストレスマイグレーションに対して充分な耐性を有し、かつ、微細加工の容易な電極構成材料を用いた弾性表面波装置を提供する。【構成】圧電性基板上にインタデジタル電極が形成された弾性表面波装置において、前記インタデジタル電極が、ストレスマイグレーションを抑制するに充分な量の少なくとも1種類のランタノイド元素を含有するアルミニウムからなるものである。

Claim (excerpt)：

圧電性基板上にインタデジタル電極が形成された弾性表面波装置において、前記インタデジタル電極が、ストレスマイグレーションを抑制するに充分な量の少なくとも1種類のランタノイド元素を含有するアルミニウムからなることを特徴とする弾性表面波装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 弾性表面波素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-064514   Applicant：松下電器産業株式会社