マイクロモータ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：青山葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995186244
Publication number (International publication number)：1996237971
Application date： Jun. 28, 1995
Publication date： Sep. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】従来のマイクロモータより高い速度、高い駆動力及びより小さい最小ステップサイズを有するマイクロモータを提供する。【構成】物体に対して運動を与える圧電マイクロモータは、第1及び第2長手エッジ、第1及び第2短手エッジ、前面及び裏面、該前面及び裏面に接続された電極を有する第1及び第2圧電プレートと、第1短手エッジの近傍の一端で第1長手エッジに取り付けられ、物体の表面に係合するセラミックスペーサとを含む。第1圧電プレートの第1短手エッジは第2圧電プレートの第1短手エッジにほぼ平行でかつ近接している。弾性力が各プレートの一部に印加され、セラミックスペーサを物体の表面に押圧する。電圧源は少なくとも幾つかの電極に励起電圧を印加する。

Claim (excerpt)：

第1及び第2長手エッジ、第1及び第2短手エッジ、前面及び裏面、該前面及び裏面に接続された電極を有する第1及び第2圧電プレートと、第1短手エッジの近傍の一端で第1長手エッジに取り付けられ、物体の表面に係合するセラミックスペーサと、各プレートの一部に印加され、セラミックスペーサを物体の表面に押圧する弾性力源と、少なくとも幾つかの電極に励起電圧を印加する電圧源とからなり、第1圧電プレートの第1短手エッジは第2圧電プレートの第1短手エッジにほぼ平行でかつ近接していることを特徴とする、物体に対して運動を与える圧電マイクロモータ。

IPC (2)：

H02N 2/00 , H01L 41/09

FI (2)：

H02N 2/00 C , H01L 41/08 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭52-029192
特開昭60-176471
特開平4-145877

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