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J-GLOBAL ID:200903068207966079

三次元形状測定方法、三次元形状測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 原 謙三
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002196217
Publication number (International publication number):2004037317
Application date: Jul. 04, 2002
Publication date: Feb. 05, 2004
Summary:
【課題】精度良く測定できる三次元形状測定方法、及び三次元形状測定装置を提供する。【解決手段】光源2と、光源の光軸上に配置され、上記光源からの光によりスリット光を形成するためのパターン形成手段3と、スリット光を測定対象物に対して集光するための投光レンズ4とを備える光学系1を設ける。上記スリット光を絞るための、スリット方向のサイズよりスリット方向と垂直方向のサイズが小さい開口部を有する非対称絞り5を設ける。上記スリット光による測定対象物6からの反射光に基づき上記測定対象物6の三次元形状を測定するための撮像光学系8を設ける。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
光切断法を用いた三次元形状測定方法において、 光源を備える光学系からのスリット光を、スリット方向と垂直方向に絞り、測定対象物に投影し、 上記スリット光による測定対象物からの反射光に基づき上記測定対象物の三次元形状を測定することを特徴とする三次元形状測定方法。
IPC (1):
G01B11/24
FI (1):
G01B11/24 A
F-Term (12):
2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC26 ,  2F065FF01 ,  2F065FF09 ,  2F065GG02 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL28
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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