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J-GLOBAL ID：200903068447840773

検査装置

Inventor： 田壷 宏和 ,  織田 容征 ,  山田 義人 ,  佐藤 元
Applicant, Patent owner： 東芝三菱電機産業システム株式会社
Agent (4)： 村上 啓吾 ,  大岩 増雄 ,  児玉 俊英 ,  竹中 岑生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005123277
Publication number (International publication number)：2006300747
Application date： Apr. 21, 2005
Publication date： Nov. 02, 2006
Summary：

【課題】 多結晶基板上に配線パターンが形成されてなる被検査物について、その配線パターンの欠陥の有無を精度良く検出できる検査装置を提供する。【解決手段】 被検査物1に対して略水平方向から光が照射されるように照明手段を配置するとともに、相対位置変更手段によって被検査物1と照明手段との相対位置を変更した状態でそれぞれ撮像手段5で撮像を行って複数の画像データを獲得する。こうして得られた各画像データについて相対位置を一致させた上で論理積演算手段10で各画像データの論理積演算を行うことにより、多結晶基板1aの特定の結晶からの指向性の強い反射光の影響を除去する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

多結晶基板上に配線パターンが形成されてなる被検査物の表面に対して略水平方向から光を照射する照明手段と、上記被検査物と照明手段との相対位置を変更する相対位置変更手段と、この相対位置変更手段により変更された互いに異なる相対位置においてそれぞれ撮像を行う撮像手段と、この撮像手段により撮像された各画像データを記憶する撮像結果記憶手段と、この撮像結果記憶手段に記憶されている各画像データを二値化する二値化手段と、この二値化手段により二値化された各画像データについて上記相対位置を一致させて論理積演算を行う論理積演算手段と、この論理積演算手段により得られた演算結果を用いて上記配線パターンの欠陥を抽出する欠陥抽出手段と、上記欠陥抽出手段により得られた欠陥抽出結果に基づいて上記配線パターンの良否判定を行う判定手段と、を備えることを特徴とする検査装置。

IPC (1)：

G01N 21/956

FI (1)：

G01N21/956 A

F-Term (17)：

2G051AA51 ,  2G051AB03 ,  2G051BA01 ,  2G051BA04 ,  2G051BB01 ,  2G051BB05 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CC07 ,  2G051CC20 ,  2G051CD07 ,  2G051DA05 ,  2G051EA11 ,  2G051EA23 ,  2G051ED22

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 配線パターン検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-014599   Applicant：松下電器産業株式会社