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J-GLOBAL ID:200903068474764000
金属酸化物前駆体ゾルの製造方法および金属酸化物成形体の製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
間宮 武雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997116123
Publication number (International publication number):1998298769
Application date: Apr. 18, 1997
Publication date: Nov. 10, 1998
Summary:
【要約】【課題】 均質な成膜が可能であるような高濃度かつ均質で、成膜後にゲル膜中に残存する有機物の量が少ない前駆体ゾルを製造できる方法を提供する。【解決手段】 金属アルコキシドを加水分解および重合させる場合に、金属アルコキシドへの水の添加を-20°C以下の温度で行う。
Claim (excerpt):
1種もしくは2種以上の金属アルコキシドを加水分解および重合させて金属酸化物前駆体ゾルを製造する方法において、前記金属アルコキシドへの水の添加を-20°C以下の温度で行うことを特徴とする金属酸化物前駆体ゾルの製造方法。
IPC (5):
C23C 18/12
, C01B 13/32
, C01G 19/00
, C01G 23/00
, C01G 25/00
FI (5):
C23C 18/12
, C01B 13/32
, C01G 19/00 A
, C01G 23/00 C
, C01G 25/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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固体酸触媒およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-345197
Applicant:日本石油株式会社
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ゾルゲル法による薄膜の作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-148611
Applicant:住友電気工業株式会社
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特開昭63-277517
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特開昭63-282123
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高誘電体薄膜の形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-055860
Applicant:三菱電機株式会社
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