放電プラズマ処理装置

Inventor： , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：竹中岑生 , 大岩増雄 , 児玉俊英 , 村上啓吾
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005338131
Publication number (International publication number)：2007144244
Application date： Nov. 24, 2005
Publication date： Jun. 14, 2007
Summary：

【課題】エンジン直下の高温場においても誘電体バリア放電を維持することができ、しかもその誘電体バリアが高温と高電界で破損することのない信頼性が向上された放電プラズマ処理装置を提供する。【解決手段】放電電極9と誘電体10とが交互に積層された積層体の中に処理ガスが通流する流路を有する放電プラズマ処理装置において、上記放電電極は、その表面及び裏面が凹凸に形成されてなり、上記誘電体は、積層方向に隣接する放電電極の間に保持され、かつ一つの誘電体における隣接する一方の放電電極の、該誘電体の側から見て凸部8が当接している部分の反対側の面は、隣接する他方の放電電極の、該誘電体の側から見て凹部7に位置するように積層したものである。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

放電電極と誘電体とが交互に積層された積層体の中に処理ガスが通流する流路を有する放電プラズマ処理装置において、上記放電電極は、その表面及び裏面が凹凸に形成されてなり、上記誘電体は、積層方向に隣接する放電電極の間に保持され、かつ一つの誘電体における隣接する一方の放電電極の、該誘電体の側から見て凸部が当接している部分の反対側の面は、隣接する他方の放電電極の、該誘電体の側から見て凹部に位置するように積層されてなることを特徴とする放電プラズマ処理装置。

IPC (7)：

B01D 53/72 , B01J 19/08 , B01D 53/56 , B01D 53/74 , H05H 1/24 , F01N 3/08 , B01D 53/94

FI (6)：

B01D53/34 120D , B01J19/08 E , B01D53/34 129C , H05H1/24 , F01N3/08 C , B01D53/36 103B

F-Term (39)：

3G091AB02 , 3G091AB04 , 3G091AB14 , 3G091BA01 , 3G091GB05W , 3G091GB06W , 3G091GB07W , 3G091GB09W , 3G091GB10W , 3G091GB16W , 3G091GB17X , 4D002AA12 , 4D002AA40 , 4D002AC10 , 4D002BA07 , 4D002BA20 , 4D002DA70 , 4D048AA06 , 4D048AA13 , 4D048AA22 , 4D048BA10X , 4D048BB03 , 4D048EA03 , 4G075AA03 , 4G075AA37 , 4G075BA05 , 4G075CA47 , 4G075CA54 , 4G075DA02 , 4G075EB42 , 4G075EC21 , 4G075EE12 , 4G075FA01 , 4G075FA05 , 4G075FA06 , 4G075FA12 , 4G075FB04 , 4G075FB20 , 4G075FC15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

内燃機関の排気浄化装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-182453 Applicant：株式会社デンソー

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