蛍光色分解装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：三好祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998146530
Publication number (International publication number)：1999326211
Application date： May. 12, 1998
Publication date： Nov. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】色分解可能な紫外線領域の波長幅を広げ、良好な色分解を行うとができる蛍光色分解装置を提供する。【解決手段】試料7に電子線を照射し、その照射によって試料から発する蛍光を色分析する為の蛍光色分解装置に於いて、紫外線領域の波長の光を選択的に反射分離し紫外線を検出する為の第1検出手段に導く為の第1ダイクロイックミラー10と、前記第1ダイクロイックミラーを透過した光を少なくともR、G、Bの3色の波長の光に分解し、各色に対応した少なくとも3つの検出手段にそれぞれの波長の光を導く為の他の複数のダイクロイックミラーとから成り、第1ダイクロイックミラーを紫外線領域の波長だけを反射させる様にしているので、反射率の低下する波長の領域を広げることが可能となり、広範囲の波長の色を分解して検出することができる。

Claim (excerpt)：

試料に電子線を照射し、その照射によって試料から発する蛍光を色分析する為の蛍光色分解装置に於いて、紫外線領域の波長の光を選択的に反射分離し紫外線を検出する為の第1検出手段に導く為の第1ダイクロイックミラーと、前記第1ダイクロイックミラーを透過した光を少なくともR、G、Bの3色の波長の光に分解し、各色に対応した少なくとも3つの検出手段にそれぞれの波長の光を導く為の他の複数のダイクロイックミラーとから成ることを特徴とする蛍光色分解装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

電子顕微鏡の蛍光電子線装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-305083 Applicant：株式会社トプコン
蛍光面色度検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-320402 Applicant：関西日本電気株式会社
試料分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-042400 Applicant：株式会社トプコン

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