電子顕微鏡の蛍光電子線装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：西脇民雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994305083
Publication number (International publication number)：1996162062
Application date： Dec. 08, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】試料から発生したた紫外域の蛍光、赤外域の蛍光に基づく蛍光像を、可視域の蛍光に基づくカラー蛍光像と共に同一画面で認識可能の電子顕微鏡の蛍光電子線装置を提供する。【構成】この発明の電子顕微鏡の蛍光電子線装置は、荷電粒子としての探針を走査させながら試料3に照射する照射部1と、試料3の荷電粒子が照射された箇所から発生する可視域の蛍光と可視外域の蛍光とを受光する受光部と、試料3に対する探針の相対位置と受光部からの受光信号とに基づき、可視域の蛍光像と可視外域の蛍光像とを表示する表示部12とを有する。

Claim (excerpt)：

荷電粒子としての探針を走査させながら試料に照射する照射部と、前記試料の荷電粒子が照射された箇所から発生する可視域の蛍光と可視外域の蛍光とを受光する受光部と、前記試料に対する前記探針の相対位置と前記受光部からの受光信号とに基づき、前記可視域の蛍光像と前記可視外域の蛍光像とを識別可能に表示する表示部とを有することを特徴とする電子顕微鏡の蛍光電子線装置。

IPC (4)：

H01J 37/244 , G01J 3/51 , H01J 37/22 502 , H01J 37/22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

紫外線顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-114922 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
近赤外レーザー照射光モニター装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-105639 Applicant：長澤明範, 加藤一一
形態観察装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-130966 Applicant：株式会社トプコン

Show all

Return to Previous Page