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J-GLOBAL ID:200903068809355143

情報記憶媒体用ガラスセラミックス基板の研磨加工方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 坂本 徹 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999083139
Publication number (International publication number):2000273444
Application date: Mar. 26, 1999
Publication date: Oct. 03, 2000
Summary:
【要約】【課題】 情報記憶媒体用ガラスセラミックス基板の研磨加工方法において、研磨加工後の基板表面特性を著しく向上させる情報記憶媒体用ガラスセラミックス基板の研磨加工方法を提供する。【解決手段】 情報記憶媒体用ガラスセラミックス基板の研磨加工方法において、研磨液中の研磨材としてZrO2および/またはAl2O3を用い両面研磨加工を行う。
Claim (excerpt):
情報記憶媒体用ガラスセラミックス基板において、研磨加工における研磨液中の研磨材が、ZrO2および/またはAl2O3であることを特徴とする情報記憶媒体用ガラスセラミックスの研磨加工方法。
IPC (8):
C09K 3/14 550 ,  B24B 1/00 ,  B24B 37/00 ,  B24D 3/00 ,  C03C 19/00 ,  G11B 5/84 ,  C03C 3/087 ,  C03C 3/097
FI (8):
C09K 3/14 550 D ,  B24B 1/00 D ,  B24B 37/00 H ,  B24D 3/00 ,  C03C 19/00 Z ,  G11B 5/84 Z ,  C03C 3/087 ,  C03C 3/097
F-Term (84):
3C049AA07 ,  3C049AA09 ,  3C049AA18 ,  3C049AC04 ,  3C049CA01 ,  3C049CA06 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03 ,  3C049CB10 ,  3C058AA07 ,  3C058AA18 ,  3C058CA06 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA17 ,  3C063BB03 ,  3C063BB07 ,  3C063BB19 ,  3C063EE01 ,  3C063EE16 ,  4G059AA09 ,  4G059AC03 ,  4G062AA18 ,  4G062DA06 ,  4G062DA07 ,  4G062DB03 ,  4G062DB04 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DD03 ,  4G062DE01 ,  4G062DE02 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA03 ,  4G062EA04 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062EC03 ,  4G062ED01 ,  4G062ED02 ,  4G062ED04 ,  4G062EE01 ,  4G062EE03 ,  4G062EF01 ,  4G062EF03 ,  4G062EG01 ,  4G062EG03 ,  4G062FA01 ,  4G062FB01 ,  4G062FB03 ,  4G062FC01 ,  4G062FC02 ,  4G062FC03 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA03 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ04 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM27 ,  4G062MM28 ,  4G062QQ03 ,  4G062QQ16 ,  5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112BA03 ,  5D112GA14
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (11)
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