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J-GLOBAL ID：200903068961061724

窒化ガリウム粉体の製造方法、及び窒化ガリウム粉体の製造装置

Inventor： 原 和彦
Applicant, Patent owner： 東京工業大学長
Agent (1)： 杉村 興作 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002169784
Publication number (International publication number)：2003063810
Application date： Jun. 11, 2002
Publication date： Mar. 05, 2003
Summary：

【要約】【課題】 大量生産を可能とし、実用に供することのできる窒化ガリウム粉末の製造方法を提供するとともに、その製造装置を提供する。【解決手段】 窒化ガリウム結晶核生成部10で、ガリウム蒸気とアンモニアガスとを化学的に反応させて窒化ガリウム結晶核を生成した後、この窒化ガリウム結晶核を窒化ガリウム粒子成長部30に窒素キャリアガスなどによって輸送する。その後、窒化ガリウム粒子成長部30において、予備反応管21内で生成した塩化ガリウムと、窒化ガリウム結晶核生成部10から輸送されたアンモニアガスとを、前記窒化ガリウム結晶核上で化学的に反応させ、成長させることによって目的とする窒化ガリウム粉末を得る。

Claim (excerpt)：

窒化ガリウム結晶核を生成させる結晶核生成工程と、前記窒化ガリウム結晶核上でハロゲン化ガリウムとアンモニアガスとを反応させ、前記窒化ガリウム結晶核から窒化ガリウム結晶を成長させて窒化ガリウム粉体を作製する、前記結晶核生成工程と連続させた粒子成長工程と、を含むことを特徴とする、窒化ガリウム粉体の製造方法。