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J-GLOBAL ID:200903068962673197
砥粒組成物
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
佐々木 宗治 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994251711
Publication number (International publication number):1996113773
Application date: Oct. 18, 1994
Publication date: May. 07, 1996
Summary:
【要約】【目的】 砥粒の組成を変えることにより、研磨速度と面品質のバランスを良くすることのできる砥粒組成物を得る。【構成】 汎用の微粒子研磨剤砥粒と、板状アルミナ単結晶粉体とを混合してなるもの。この場合、汎用の微粒子研磨剤砥粒が、褐色溶融アルミナとジルコンとの混合物、褐色溶融アルミナ、白色溶融アルミナ、ジルコニア、炭化ケイ素、ガーネット、エメリー、ケイ砂の群から選ばれた少なくとも1種の砥粒であることがよく、さらに、汎用の微粒子研磨剤砥粒の平均粒径が3.0〜40.0μmの範囲のものであることが好ましい。また、板状アルミナ単結晶粉体の平均粒径が汎用の微粒子研磨剤砥粒の平均粒径の1.0〜3.0倍の範囲内にあることが望ましく、さらに、板状アルミナ単結晶粉体の混合量が汎用の微粒子研磨剤砥粒に対して1〜10重量%の範囲であることが好ましい。
Claim (excerpt):
汎用の微粒子研磨剤砥粒と、板状アルミナ単結晶粉体との混合物であることを特徴とする砥粒組成物。
IPC (3):
C09K 3/14 550
, C09K 3/14
, B24B 37/00
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
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特開昭60-038486
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特開昭58-181725
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特開昭55-071697
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研磨用組成物および研磨方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-077595
Applicant:株式会社フジミインコーポレーテッド
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カーボン基板の鏡面仕上研磨方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-129501
Applicant:株式会社神戸製鋼所
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Cited by examiner (3)
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特開昭60-038486
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特開昭58-181725
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特開昭55-071697
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