圧電振動片及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：布施行夫 , 大渕美千栄 , 伊奈達也 , 永田美佐
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007032126
Publication number (International publication number)：2008199283
Application date： Feb. 13, 2007
Publication date： Aug. 28, 2008
Summary：

【課題】本発明の目的は、音叉型振動片に比べてCI値を上昇させずに小型化が可能であり、捩りモード振動片に比べて製造プロセスが容易であって良好なCI値が得られる圧電振動片を提供することにある。【解決手段】振動腕12は、U字の1つの先端が基部10に接続して延びるとともに他方の振動腕12から離れる方向に屈曲してさらに延びる。励振電極42は、第1及び第2の腕部22,26の左右両側面18,20に形成された側面電極44と、第1及び第2の腕部22,26の左右両側面18,20を除く領域に形成された中央電極56と、を含む。電圧の印加によって左右の側面電極44と中央電極56との間にそれぞれ発生する電界によって、一対の振動腕12の第1の腕部22が相互に離れる方向に屈曲するときに第2の腕部26も相互に離れる方向に屈曲し、一対の振動腕12の第1の腕部22が相互に近づく方向に屈曲するときに第2の腕部26も相互に近づく方向に屈曲する。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

基部と、それぞれU字状をなして左右に並んで配置されている一対の振動腕と、前記一対の振動腕のそれぞれに形成されている励振電極と、を含み、それぞれの前記振動腕は、U字の1つの先端が前記基部に接続して延びるとともに他方の前記振動腕から離れる方向に屈曲してさらに延び、前記基部から延びる第1の腕部と、前記第1の腕部から折り返す折り返し部と、前記折り返し部から延びる第2の腕部と、を含み、前記励振電極は、少なくとも前記第1及び第2の腕部の左右両側面に形成された側面電極と、少なくとも前記第1及び第2の腕部の前記左右両側面を除く領域に形成された中央電極と、を含むように形成され、かつ、電圧の印加によって左右の前記側面電極と前記中央電極との間にそれぞれ発生する電界によって、前記一対の振動腕の前記第1の腕部が相互に離れる方向に屈曲するときに前記第2の腕部も相互に離れる方向に屈曲し、前記一対の振動腕の前記第1の腕部が相互に近づく方向に屈曲するときに前記第2の腕部も相互に近づく方向に屈曲するように形成されてなる圧電振動片。

IPC (7)：

H03H 9/19 , H03H 9/215 , H03H 3/02 , H03H 3/04 , H01L 41/09 , H01L 41/18 , H01L 41/22

FI (9)：

H03H9/19 J , H03H9/215 , H03H3/02 D , H03H3/04 B , H01L41/08 C , H01L41/08 L , H01L41/18 101A , H01L41/22 Z , H01L41/08 K

F-Term (19)：

5J108BB02 , 5J108BB03 , 5J108BB08 , 5J108CC01 , 5J108CC06 , 5J108CC09 , 5J108CC11 , 5J108CC12 , 5J108DD05 , 5J108FF03 , 5J108FF05 , 5J108HH01 , 5J108HH04 , 5J108HH05 , 5J108KK01 , 5J108KK06 , 5J108MM11 , 5J108NA03 , 5J108NB05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

圧電振動片および圧電デバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-309137 Applicant：セイコーエプソン株式会社
捩り水晶振動子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-256449 Applicant：セイコー電子部品株式会社
音叉型捩り水晶振動子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-170149 Applicant：セイコー電子部品株式会社

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