赤外線センサ

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：西川惠清 , 森厚夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005236869
Publication number (International publication number)：2007051915
Application date： Aug. 17, 2005
Publication date： Mar. 01, 2007
Summary：

【課題】製造が容易で機械的強度の向上、高感度化および応答速度の高速化を図れる赤外線センサを提供する。【解決手段】シリコン基板からなる矩形板状のベース基板1と、ベース基板1の一表面側に形成されて赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部3と、温度検知部3に積層され赤外線を吸収する赤外線吸収層6と、ベース基板1の上記一表面側でベース基板1と温度検知部3との間に介在して温度検知部3からベース基板1への熱伝導を阻止する断熱部2と、ベース基板1の上記一表面側で温度検知部3に金属配線4a,4cを介して電気的に接続された一対のパッド5a,5cとを備えている。断熱部2は、多孔質材料により形成されている。ここで、断熱部2は、ベース基板1の一部を陽極酸化処理により多孔質化することで形成された多孔質シリコン層により構成されている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ベース基板と、ベース基板の一表面側に形成されて赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部と、ベース基板の前記一表面側でベース基板と温度検知部との間に介在して温度検知部からベース基板への熱伝導を阻止する断熱部とを備え、断熱部が多孔質材料により形成されてなることを特徴とする赤外線センサ。

IPC (3)：

G01J 1/02 , H01L 37/00 , H01L 35/32

FI (4)：

G01J1/02 C , G01J1/02 Y , H01L37/00 , H01L35/32 A

F-Term (9)：

2G065AB02 , 2G065BA11 , 2G065BA12 , 2G065BA13 , 2G065BA14 , 2G065BA34 , 2G065CA13 , 2G065CA27 , 2G065DA20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

薄膜サーミスタおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-078648 Applicant：松下電工株式会社

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