白金又はパラジウムよりなる金属膜のパターニング方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岡本啓三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993278657
Publication number (International publication number)：1995130702
Application date： Nov. 08, 1993
Publication date： May. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】白金又はパラジウムよりなる金属膜のパターニング方法に関し、その金属膜のパターニングの際に生じる再付着物による汚染を防止すること。【構成】白金又はパラジウムよりなる金属膜13を形成する工程と、前記金属膜13の上にマスク14を形成し、塩素含有ガス又は臭素含有ガスのいずれかとアルゴンガスとを用いるドライエッチングにより、該マスク14に覆われない領域の前記金属膜13を除去する工程と、前記金属膜13の上に付着した塩化物又は臭化物を有機溶剤により除去する工程を含む。

Claim (excerpt)：

白金又はパラジウムよりなる金属膜(13,23)を形成する工程と、前記金属膜(13,23)の上にマスク(14,24)を形成し、塩素含有ガス又は臭素含有ガスのいずれかとアルゴンガスとを用いるドライエッチングにより、該マスク(14,24)に覆われない領域の前記金属膜(13,23)を除去する工程と、前記金属膜(13,23)の上に付着した塩化物又は臭化物を有機溶剤により除去する工程とを有することを特徴とする白金又はパラジウムよりなる金属膜のパターニング方法。

IPC (4)：

H01L 21/306 , H01L 21/3065 , H01L 21/304 341 , H01L 21/314

FI (3)：

H01L 21/306 F , H01L 21/302 F , H01L 21/302 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

ドライエツチング後の後処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-201298 Applicant：日本電気株式会社

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